據(jù)南方財富網(wǎng)概念查詢工具數(shù)據(jù)顯示，光刻晶圓概念股有：
泰晶科技（603738）：5月29日，泰晶科技（603738）5日內(nèi)股價上漲1.1%，今年來漲幅下跌-10.31%，漲2.1%，最新報13.580元/股。
泰晶科技消息，公司最新研制的用于光刻工程的高精度配套設(shè)備―全自動晶圓調(diào)頻及測選機(jī)，近日又取得新突破，該設(shè)備適用于光刻晶圓頻率調(diào)整及分測，配合基于半導(dǎo)體技術(shù)的光刻制程量產(chǎn)及質(zhì)量提升。這一設(shè)備的研制成功，不僅填補(bǔ)了行業(yè)空白，而且保證了關(guān)鍵性技術(shù)的保密性，為公司正在進(jìn)行的大規(guī)模擴(kuò)產(chǎn)提供了更優(yōu)的方案。
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