據南方財富網概念查詢工具數據顯示，光刻機概念龍頭股有：
華特氣體688268：
光刻機龍頭股。9月11日開盤最新消息，華特氣體昨收54.77元，截至下午三點收盤，該股漲2.3%報56.030元 。
9月9日該股主力凈入-50.25萬元，其中資金流入方面：超大單凈入519.93萬元，大單凈入4837.79萬元，中單凈入4498.13萬元，散戶凈入3056.88萬元；資金流出方面：超大單凈出2243.39萬元，大單凈出3164.58萬元，中單凈出4616.12萬元，散戶凈出2888.63萬元。
容大感光300576：
光刻機龍頭股。9月11日消息，截至下午三點收盤容大感光漲3.17%，報37.140元，換手率4.57%，成交量1063.02萬手，成交額3.9億元。
9月10日消息，容大感光9月10日主力資金凈流出683.99萬元，超大單資金凈流出482.51萬元，大單資金凈流出201.47萬元，散戶資金凈流入294.38萬元。
芯源微688037：
光刻機龍頭股。截至9月11日下午3點收盤，芯源微報123.770元，漲2.63%，換手率2.56%，成交量514.4萬手，市值為249.12億元。
9月10日該股主力凈流入4115.31萬元，超大單凈流入3630.28萬元，大單凈流入485.02萬元，中單凈流入4199.35萬元，散戶凈流出8314.65萬元。
晶瑞電材300655：
光刻機龍頭股。9月11日開盤消息，晶瑞電材5日內股價上漲11.36%，今年來漲幅上漲32.27%，最新報13.820元，漲0.51%，市盈率為-76.78。
9月10日該股主力資金凈流出1.09億元，超大單資金凈流出6390.64萬元，大單資金凈流出4530.81萬元，中單資金凈流入3352.39萬元，散戶資金凈流入7569.05萬元。
光刻機概念股其他的還有：
東材科技：近5個交易日股價上漲15.88%，最高價為19.84元，總市值上漲了36.01億，當前市值為201.99億元。
上海機電：近5日上海機電股價上漲6.6%，總市值上漲了18億，當前市值為272.87億元。2025年股價上漲32.83%。
萬業(yè)企業(yè)：回顧近5個交易日，萬業(yè)企業(yè)有3天上漲。期間整體上漲6.77%，最高價為16.44元，最低價為14.91元，總成交量1.2億手。
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